今天北京华卓精科科技有限公司在科创板成功召开会议

，今天，北京华卓精科科技有限公司在科创板成功召开会议。

华卓精科的主营业务是超精密测控设备其产品包括精密运动系统，掩模对准器双级模块，静电卡盘，晶圆级键合设备，激光退火设备等主要应用于集成电路制造，超精密制造，光学，医疗等行业

口罩对准器工作台是口罩对准器中的三大核心部件之一，华卓精科是国内第一家自主研发并实现口罩对准器双工作台商业化生产的企业，也是国内口罩对准器龙头上海微电子的供应商。

目前，华卓荆轲的DWS系列双级可用于65nm及以上节点的I线，KrF和ArF干掩模对准器，但尚未通过上海微电子的验收。

日前，华卓精科上海市委会议延期上海市委现场询问其口罩对准器双工作台的产业化前景，其技术研发是否依托清华大学，2019年，2020年四季度销售收入较大

报告期内，华卓精科营收呈增长趋势，2018年，2019年，2020年营收分别为8570万元，1.21亿元，1.52亿元。

本轮IPO中，华卓精科计划募集资金7.35亿元，将用于半导体设备关键元器件R&D及制造，长三角创新与R&D超精密测控产品中心，集成电路设备及元器件产品创新项目，掩模对准器中超精密位移测量与平面光栅测量技术研发四个项目。

华晶科募集资金用途。

华卓精科董事，核心技术人员，首席科学家朱昱为公司控股股东，实际控制人，实际控制股份比例为54.23%手稿显示，朱昱是清华大学的长期教授，华卓精科的所有高管也都有清华背景

华卓精科的股权结构。

会议稿显示，华卓精科报告期内营收持续增长，增速较快华卓精科2018年至2020年的营收分别为8570.92万元，1.21亿元和1.52亿元2019年营收增长41.14%，2020年增长25.94%

净利润方面，华卓精科2018年，2019年，2020年净利润分别为1512.36万元，2087.24万元，1242.83万元。

会议稿显示，华卓精科营收快速增长主要得益于下游终端市场需求旺盛以及半导体设备国产替代趋势的影响2020年，华卓精科净利润降幅较大，但管理费用，贷款利息，计提信用损失大幅增加

华卓精科2018年至2020年营收及净利润变动情况。

具体来说，华卓精科的营收构成可分为三类:部分超精密测控设备，整体超精密测控设备及其他。

其中，超精密测控设备的组成部分主要包括精密运动系统及技术开发，掩模对准器双工作台模块及技术开发，经典卡盘及技术开发和隔振器超精密测控设备可分为晶圆级键合设备及技术开发和激光退火设备

根据会上的草案，口罩对准器中的双工作台技术很难发展2019年，上海微电子作为国内唯一一家掩模对准器整机制造商，未完成合同内容验收，因此华卓精科业务收入为0

2018年至2020年，华卓精科各项业务收入比例发生变化。

就客户而言，华卓精科的主要客户是半导体等领域的企业，高校客户收入相对较低中科飞策和上海微电子在报告期内一直是华卓精科的前五大客户

2018年至2020年，华卓精科前五大客户的销售收入占比

2018年至2020年，华卓精科从前五大供应商的采购总额占比分别为37.69%，29.41%和20.63%，呈下降趋势2019年和2020年华卓精科的前五大供应商分别是翟伦达，Zygo Corporation和山东辛雷精密机械有限公司

华卓精科报告期内前五大供应商。

2.该产品填补了国内多项空白，口罩对准器两个工作台之间存在工艺差距。

对于掩模对准器市场，主要制造商是荷兰的ASML，日本的尼康和佳能以及中国上海的微电子。

尼康和佳能主要采用内部生产模式，即口罩对准器的主要子系统由整机厂开发生产早期ASML采用的是Out House生产模式，即只负责整机的设计和子系统的需求定义，子系统由第三方厂商生产2010年后，ASML开始设计自己的工作台

会上指出，无论上述整机厂商采用何种R&D和生产模式，其工作台都不会单独销售这也意味着华卓精科对于口罩对准器的国产替代更为重要

华卓晶科的DWS系列产品和ASML的干式深紫外口罩对准器双工作台，与ASML使用的口罩对准器双工作台相比，结构相同，但性能有些落后华卓精科的浸没式DWSi系列产品尚未开发，在极紫外领域，华卓晶科尚未推出产品

截至最新发布稿签署，华卓精科DWS系列掩模对准器双工件台共交付4台，目前仍处于与上海微电子掩模对准器集成测试阶段。

，尚未通过上海微电子的最终验收。

华卓精科光刻机双工件台与 ASML 所用工件台对比

此外，在精密运动系统，晶圆级键合设备，激光退火设备，静电卡盘等不同的市场，华卓精科还需要面对不同的国内外竞争对手这些对手既有 Aerotech，应用材料，泛林半导体，东京电子，住友重工等国外巨头，也有中微公司，长川科技，北方华创等国内半导体设备厂商

相对来说，华卓精科存在融资渠道单一，品牌知名度较低，客户资源较为劣势等差距此外，华卓精科的晶圆级键合设备，激光退火设备等仍处于小批量定制生产阶段，未实现规模化量产，其光刻机双工件台也尚未通过下游客户验收在产线丰富度和产品性能上，华卓精科同样和行业龙头存在差距

华卓精科产品业务与行业龙头差距以及产品量产情况

尽管华卓精科的产品和行业龙头相比存在不少差距，但是由于该公司较为丰富的技术积累，其产品填补了多项国内空白，促进了半导体制造设备和核心部件的国产替代进程。

截至 2021 年 6 月 30 日，华卓精科共拥有 198 项专利以及 1 项专利独占权，其中包括发明专利 148 项，实用新型 43 项，外观设计 2 项，美国专利 5 项。

因为朱煜是清华大学的长聘教授，华卓精科与清华大学存在较为密切的技术交流，合作上会稿写道，华卓精科承接了清华大学原发技术积累，并在报告期内委托清华大学进行了 65nm 双工件台关键技术测试开发项目

华卓精科与清华大学作为共同专利权人拥有的专利共计 162 项，其中协议转让方式获取的专利 115 项，委托开发方式获取的专利 30 项，合作研发方式获取的专利 17 项，清华大学授权华卓精科独占实施许可的专利 1 项。

华卓精科和清华大学共有专利，专利实施许可，技术转让情况

03. 研发团队占比超 30%，2 名核心技术人员系清华兼职

华卓精科研发人员共有 133 人，占员工总数比例为 33.08%核心技术人员共有 7 人，分别为朱煜，张鸣，杨鹏远，陈静，张利，张豹和刘效岩，其中朱煜和张鸣为华卓精科原有核心技术人员

朱煜 2001 年于中国矿业大学获机械设计及理论专业博士学位毕业后，朱煜曾先后于中国矿业大学和清华大学从事教学和博士后工作2004 年 10 月至今，朱煜为清华大学教授，也是科技部重点领域创新团队负责人及国家 02 科技重大专项技术副总师此外，朱煜在全球拥有授权专利 227 项，其中发明专利 173 项，他还发表了 200 余篇论文，出版专著 2 本

2007 年和 2016 年，朱煜曾在北京七星华创电子和北方华创任独立董事，2012 年 5 月至 2015 年 7 月，他任华卓有限董事长兼总经理，2015 年 8 月至 2015 年 9 月，朱煜为华卓精科董事长，2015 年 9 月至今，他担任华卓精科董事，首席科学家值得一提的是，朱煜也是国产 CMP 厂商华海清科的股东，拥有华海清科 4.98% 的股份

华卓精科董事，首席科学家朱煜

张明 2005 年于清华大学获机械工程专业博士学位1999 年 3 月至 2000 年 7 月，他在中国运载火箭技术研究院任助理工程师，2005 年 7 月，张鸣在清华大学任博士后，助理研究员，副研究员等职2017 年 8 月，张鸣任华卓精科技术顾问，2018 年 2 月起，他开始担任华卓精科董事

张鸣曾参与过国家重大专项，973 计划，863 计划等 6 项国家级项目，发表论文 66 篇，其中 SCI 期刊收录 17 篇目前，张鸣拥有国家授权专利 164 项，其中发明专利 147 项

当前朱煜，张鸣已取得清华大学兼职批复，作为兼职人员在华卓精科任职两人也承诺，如果华卓精科顺利上市，其将继续向清华大学办理兼职批复，继续从事兼职工作，如果未能取得清华大学同意兼职的批复，则将从清华大学办理离职手续并全职在华卓精科工作

华卓精科部分技术人员在清华大学任职情况

04. 朱煜实际控股比例过半

根据上会稿，朱煜直接持有华卓精科 35.72% 的股份，他还通过艾西科技和艾西博锐持有 5.45% 的股份而华卓精科的徐登峰，张鸣，杨开明，尹文生，胡金春，穆海华，成荣 7 名股东合计持有 13.06% 的公司股份，并于与朱煜保持一致行动关系所以朱煜实际控制的股份比例为 54.23%，是华卓精科的实际控制人和控股股东

此外，持有华卓精科股份比例超过 5% 的股东还有水木愿景和水木长风两家公司，持股比例分别为 8.75% 和 6.78%华卓精科董事长吴勇为水木愿景，水木长风和吴勇本人推荐担任

华卓精科股东名单

05. 结语:产学合作填补空白，需要面对多领域巨头竞争

与此前过会的华海清科类似，华卓精科也是依托于清华大学的技术积累，并通过产学研用模式，将学术成果转化为商用化产品，填补了我国光刻机工件台这一半导体核心部件的空白。

因此，华卓精科如果能够上市成功，对我国光刻机的国产替代有着积极意义但同时，华卓精科的产品业务较多，部分产品尚未规模化量产，能否在这些已经比较成熟的行业获得成功仍需观望

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